BECKER滤芯909514
迷你VLS分离器的设计是由挡板，聚酯入口过滤器元件，和浮球开关阀，它提供用于泵溢出保护。 可在标准的碳钢，可选的环氧涂层碳钢或304不锈钢。 额定流量高达25 CFM。
VLS分离器 ，可在与潮湿或干燥的产品使用大尺寸。像迷你VLS分离器，这些装置还包括一个入口挡板，5微米聚酯滤芯，和球型截止。 提供可选的液位开关，视镜，差压计或开关，以及排水阀充足的端口。 可在标准的碳钢，可选exopy涂覆碳钢或304不锈钢。 额定工作至0.001托。 流量范围从60到830 CFM。 特别PCV液分离器和反向流动凝聚单位可供选择（调用工厂）。
VLSP PVC液体分离器 ，设计用于从进口空气流中分离出来的高水负荷。 切向入口和挡板，结合不锈钢除雾器，入口过滤器（可选）和浮球截止阀。 所有的PVC和不锈钢是指无腐蚀。
WDS的分隔符有BECKER所有的分隔符的最高持股量。 它是一个两阶段的分离器，它使用方向改变莫名其妙以除去大部分产物，随后，可以滤除小至1微米的自清洁袋型元件。 提供了去除固体的大型清洁输出端口。 额定工作至0.4托。 流量范围从70到750 CF
BECKER滤芯909514
主要规格有：BECKER贝克尔真空泵滤芯系列：96541200000，9654160000，9654150000，9654090000，9654090000，9654090000，909578，84040107，909514，909510，909514，909519，909518，909505，84040112，84040207、84040110000，9095060000，909505，909507
HORIBA轴承 1000110646 6011.c3
HORIBA电脑板 7000543301
HORIBA控制器 1000073620
HORIBA储存卡 1000032460
HORIBA冷却室 WT190/WT2-380
HORIBA圆形密封 1000004523 VI-RSTV390x3
HORIBA O型密封 1000006692 VI-RSTV378x3
HORIBA圆形密封 1000004522 222x3FPM80
HORIBA轴承座 1000009609 fixed besring socket WT190/WT2-380
HORIBA SIH4质量流量计 SEC-N112MGM(SIH4，3SLM) VALVE:C TREAT ;GAS:N2 MR.MG-06;FLOWRATE:10SLM通信控制 PECVD
HORIBA NH3质量流量计 SEC-N112MGM(NH3，10SLM) VALVE:C TREAT ;GAS:N2 MR.MG-07;FLOWRATE:30SLM（通信控制）PECVD
HORIBA NH3质量流量计 SEC-N112MGM(NH3，10SLM) VALVE:C TREAT ;GAS:N2 MR.MG-07;FLOWRATE:30SLM（通信控制）PECVD