1、利用FFU风机过滤单元内部的风机(电机+叶轮)将空气(风)吸入,所吸收的空气(风)经过FFU下面的HEPA(高效空气过滤器)或者ULPA(超高效过滤器)滤网
2、将空气中的大颗粒的尘埃微粒子过滤掉
3、最后把新风以0.45m/s±10%的风速均匀送到洁净室。能使用FFU的无尘室一般来说,都是洁净度在千级以上的。
4、其基本结构是空气首先经过MAU(首次过滤,初中效过滤器)进入无尘室顶部,再通过FFU(二次过滤,HEPA或ULPA)将风送进无尘室内,送下来的风通过高架地板,再进入回风箱送到无尘室顶部。
特点:
1、 由冷轧钢板喷塑或不锈钢做成的FFU箱体,结构精巧坚固,外形美观;
2、 采用直驱式高效离心风机,具有长寿命、低噪音、免维护、震动小、可调速;
3、 适合于组装成超净生产线,可根据工艺布置为单台使用,也可多台串联形成100级流水装配线。配置高效过滤器,更换极为方便。