FFU为英文缩写，全称为 Fan Filter Units, 中文意思为"风机滤器单元（机组）"。也就是将风机和过滤器（高效过滤器（HEPA）或超高效过滤器（ULPA））组合在一起构成自身提供动力的末端净化设备。确切地说FFU是一种自带动力、具有过滤功效的模块化的末端送风装置。

FFU通常安装在洁净室的送风末端，一般放置在吊装的“干式”垫片密封龙骨框架上。FFU上面部分为风机模块，下面部分为过滤器。根据洁净度的要求，过滤器可为不同等级的高效（HEPA）或超高效（ULPA）过滤器，为洁净室提供洁净空气。风机模块除了要克服FFU下部高效过滤器的阻力，还要克服整个循环风所有通道部件的阻力，从而维持设定的运行风速。FFU系统具有设计施工简便，风速调节灵活，洁净区易于变更等特点，因此已成为工业洁净室的流行系统形式之一

具有特点
第一：灵活性。因为FFU是自带动力的，它不受区域的限制。在一个偌大的洁净厂房里，可根据需要，分区控制。而且，随着半导体生产工艺的变化，厂房布局必然要作相应调整，FFU的灵活性使得这样的调整变得轻松，而且不会带来二次投资。
第二：可再利用性。从理论上讲，一时不用的FFU设备，可以拆下来，密封好，妥善保管，留待下次使用。
第三：负压通风。这是FFU的独特特点。由于它本身能够提供静压，使得送风静压箱相对于洁净厂房负压。这样，静压箱内的颗粒就不会受到压力的作用泄漏到洁净区里，使得密封变得很简单而且安全。
第四：缩短建设周期。使用FFU省掉了风管的制作和安装，因为风管在洁净工程中，占掉很大的建设周期，任何一个投资者都希望投资能尽快带来收益，选用FFU成为了一种可能。
第五：减少运行成本。虽然在选用FFU时，初期投资要比使用风管通风高，但它在后期运行中，突出的表现出节能、免维护等特点。用在循环减少40%的运行成本，

FFU操作维护：

1.接通220V、50HZ电源，打开调速器，根据需要调好风速，确认风机工作正常。

2.待风机正常运转3分钟后即可开始工作。用FFU、支撑架结构件、防静电窗帘等可组装成多种尺  寸的10-10万级的洁净室和洁净生产线。

3.模块化、组装式结构设计，施工简便，可大大缩短在现场的施工时间。

4.相对于土建式洁净室，造价费用低。

5.适用于建造小面积的洁净区域。

FFU维护保养

1、经常擦拭层流送风单元，保持清洁

2、高效过滤器定期更换：更换高效过滤器后，应重新检测层流送风单元技术参数，达到要求后方可继续工作。

3、检测： 建议参照美国联邦标准，定期使用粒子计数器检测层 送风单元工作区域内的尘埃粒子数（洁净度）及过滤器是否存在破漏情况（推荐使用川嘉CJ-HLC300尘埃粒子计数器检测）。

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